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正置金相显微镜
MX8R-SOPTOP-大平台晶圆半导体检查显微镜

MX8R 大平台晶圆半导体检查显微镜 各项操作根据人机工程学设计,最大限度减轻操作者的使用疲劳。其模块化的部件设计,可对系统功能进行自由组合。涵盖明场、暗场、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多种观察功能,可根据实际应用,进行功能选择。SOPTOP

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产品详情

MX8R大平台晶元半导体检查显微镜

LED芯片检测显微镜MX8R型

仪器概述

 

MX8R各项操作根据人机工程学设计,最大限度减轻操作者的使用疲劳。其模块化的部件设计,可对系统功能进行自由组合。涵盖明场、暗场、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多种观察功能,可根据实际应用,进行功能选择。

无限远铰链三通观察头

ETTR 型正像铰链三目观察头,所成像的方位与物体实际方位一致,物体移动的方向跟像面移动的方向相同,便于使用者观察与操作。

长工作距金相物镜

全新设计的长工作距物镜,采用半复消色差技术,其使用的多层宽带镀膜技术,使整个视场内的成像清晰锐利,色彩自然,明亮舒适。长工作距设计,50X 物镜的有效工作距离 7.9mm,100X 物镜的有效工作距离也达到了 2.1mm,更有20X 超长工作距金相物镜,大幅拓展了 MX 机型的应用领域。同步设计了全套明暗场两用物镜,适用于MX8R 机型,暗场照明亮度比传统暗场物镜提高 2 倍以上。

高性能物镜转换器

MX 机型的转换器采用精密轴承设计,转动手感轻巧舒适,重复定位精度高,物镜转换后的同心度也得到较好的控制,根据 MX 系列机型配置及功能的不同,可以选择不同型号的转换器。

明暗场反射照明器
带可变孔径光阑,视场光阑,中心均可调 ;带明暗场照明切换装置,适用于MX8R/MX8RT机型。

丰富的观察方式,满足您的检测需求

明场观察:远心柯拉反射照明系统,配以全新设计的无限远长工作距平场消色差金相物镜,从低倍到高倍,都能得到清晰、平坦、明亮的高画质显微图像。

暗场观察:将暗场照明拉杆拉到指定位置,即可使用暗场功能,可以观察物体表面的各种划痕、杂质点及其他细微缺陷。内置衰减片,减少明暗场切换时光线剧烈变换对眼睛的刺激。

简易偏光观察:将起偏镜及检偏镜插板插入照明器的指定位置,即可进行简易偏光观察。检偏镜可分为固定式和 360°旋转式两种。

DIC 微分干涉观察:在正交偏光的基础上 , 插入 DIC 棱镜,即可进行 DIC 微分干涉观察。使用 DIC 技术 , 可以使样品表面微小的高低差产生明显的浮雕效果,极大的提高图像的对比度。可匹配带 DIC 功能的物镜,使整个视场的干涉色一致,微分干涉效果非常出色 , 高倍物镜 DIC 效果也较好。

     附件:       摄影 / 摄像附件:在三目观察筒上,可以配接摄影摄像装置,将双目观察到的图像输出至监视器或计算机,进行图像分析、处理、保存或传送。使用专用的 C 接口与中继镜,可以和数码相机联接,快速进行拍照,并获取图像。

多种干涉滤色片可选:   使用 12V100W 卤素灯时照明时,可以选择 LBD 日光型滤色片,能将光线过滤成自然日光的颜色,图像背景柔和亮白。根据具体工业检测的需要,可以选择其他颜色的滤光片来对光线光谱进行调节,以获得最好的图像效果。
                                                     

详细技术参数

 

型号

MX8R

MX8RT

光学系统

无限远色差光学系统

观察筒

30°倾斜,正像,无限远铰链三通观察筒,瞳距调节 :50-76mm,分光比 100:0 或 0:100(支持 25/26.5mm 视场)

30°倾斜,倒像,无限远铰链三通观察筒,瞳距调节 :50-76mm,三档分光比 0:100 ;20:80 ;100:0(支持 25/26.5mm 视场)

5-35°倾角可调,正像,无限远铰链三通观察筒,瞳距调节:50-76mm,单边视度调节:±5 屈光度,两档分光比 100:0 或 0:100(支持 22/23/16mm 视场)

目镜

高眼点大视野平场目镜 PL10X/22mm,可带测微尺,可选视度可调

高眼点大视野平场目镜 PL10X/23mm,视度可调

高眼点大视野平场目镜 PL10X/25mm,视度可调,可带刻度十字分划板

高眼点大视野平场目镜 PL10X/26.5mm,视度可调,可带刻度十字分划板

高眼点大视野平场目镜 PL15X/16mm

物镜

长工作距平场明暗场消色差金相物镜(5X、10X、20X、50X、100X)

无限远长工作距明暗场半复消色差金相物镜(5X、10X、20X、50X、100X)

超长工作距明暗场半复消色差金相物镜(20X)

转换器

内定位五孔明暗场转换器,带 DIC 插槽

调焦机构

反射式机架,前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程 33mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置 100-240V 宽电压系统,带光亮度设定暗扭与复位按扭。

透、反射式机架,前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程33mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置 . 内置100-240V宽电压系统,5W 暖色LED透射光照明系统,上下光独立可控

载物台

6 英寸三层机械移动平台,低手位 X、Y 方向同轴调节 ;平台面积 445mm×240mm,反射照明移动范围 :158mm×158mm ;透射照明移动范围 :100×100mm ;带离合器手柄,可用于全行程范围内快速移动 ;玻璃载物台板(透、反射用)

照明系统

明暗场反射照明器 , 带可变孔径光阑,视场光阑 , 中心均可调 ;带明暗场照明切换装置 ;带滤色片插槽与偏光装置插槽

摄影摄像

0.35X/0.5X/0.65X/1X 摄像接筒,C 型接口,可调焦

其他

起偏镜插板,固定式检偏镜插板,360°旋转式检偏镜插板 ;反射用干涉滤色片组;高精度测微尺;DIC 微分干涉组件。

       

 

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