MX6R半导体检查显微镜各项操作根据人机工程学设计，Zui大限度减轻操作者的使用疲劳。其模块化的部件设计，可对系统功能进行自由组合。涵盖明场、暗场、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多种观察功能，可根据实际应用，进行功能选择。
MX6R各项操作根据人机工程学设计，Zui大限度减轻操作者的使用疲劳。其模块化的部件设计，可对系统功能进行自由组合。涵盖明场、暗场、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多种观察功能，可根据实际应用，进行功能选择。
宽视场铰链式三目观察筒
正像铰链三目观察筒，所成像的方位与物体实际方向相同，物体移动的方向跟像面移动的方向相同，便于观察与操作。
大行程移动平台设计
采用6寸平平台设计，行程158×158mm，可适用于对应尺寸的晶圆或FPD检测，也可用于小尺寸样品的阵列检测。
高精度物镜转换器
转换器采用精密轴承设计，转动手感轻巧舒适，重复定位精度高，物镜转换后的同心度也得到较好的控制。
安全、稳重的机架结构设计
工业检测级显微镜镜体，低重心、高刚性、高稳定性金属机架，保证了系统的抗震能力与成像稳定性。
其前置低手位粗微调同轴调焦机构，内置100-240V宽电压变压器，可适应不同地区的电网电压。底座内部设计有风循环散热系统，长时间使用也不会使机架过热。
技术参数
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光学系统 |
无限远色差光学系统 | |
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观察方式 |
明场/暗场/偏光/DIC |
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观察筒 |
30°倾斜，正像，无限远铰链三通观察筒，瞳距调节：50-76mm，分光比100:0或0:100 |
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| 30°倾斜，倒像，无限远铰链三通观察筒，瞳距调节：50-76mm，三档分光比0:100；20:80；100:0 | ||
| 5-35°倾角可调，正像，无限远铰链三通观察筒，瞳距调节：50-76mm，单边视度调节：±5屈光度，两档分光比100:0或0:100 | ||
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目镜 |
高眼点大视野平场目镜PL10X/22mm，视度可调，可带侧微尺 |
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| 高眼点大视野平场目镜PL10X/23mm，视度可调 | ||
| 高眼点大视野平场目镜PL10X/25mm，视度可调 | ||
| 高眼点大视野平场目镜PL10X/26.5mm，视度可调 | ||
| 高眼点大视野平场目镜PL15X/16mm | ||
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物镜 |
无限远长工作距平场明暗场消色差金相物镜5X-DIC、10-DICX、20X-DIC、50X、100X |
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| 明暗场半复消金相物镜5X、10X、20X、50X、100X | ||
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转换器 |
5孔内倾式明暗场转换器，带DIC插槽 |
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调焦机构 |
反射式机架 , 前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程 33mm, 微调精度 0.001mm. 带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置.内置 100-240V 宽电压系统 , 带光亮度设定暗扭与复位按扭 |
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| 透、反射式机架 , 前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程 33mm, 微调精度 0.001mm. 带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置.内置 100-240V 宽电压系统，5W暖色LED透射光照明系统，上下光独立可控 | ||
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载物台 |
6英寸三层机械移动平台，低手位X、Y方向同轴调节；平台面积445mm×240mm，移动范围：158mm×158mm；带离合器手柄，可用于全行程范围内快速移动；玻璃载物台板（反射用） |
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| 6英寸三层机械移动平台，低手位X、Y方向同轴调节；平台面积445mm×240mm，反射照明移动范围：158mm×158mm；透射照明移动范围：100×100mm；带离合器手柄，可用于全行程范围内快速移动；玻璃载物台板（透、反射用） | ||
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照明系统 |
明暗场反射照明器 , 带可变孔径光阑，视场光阑 , 中心均可调 ；带明暗场照明切换装置 ；带滤色片插槽与偏光装置插槽 |
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摄影摄像 |
0.35X/0.5X/0.65X/1X摄像接筒，C型接口，可调焦 |
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其他 |
起偏镜插板，固定式检偏镜插板，360°旋转式检偏镜插板 ；反射用干涉滤色片组 ；高精度测微尺 ；DIC 微分干涉组件 |
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