MX63/MX63L 半导体/FPD检查显微镜

满足电子行业需求

功能性：为满足电子行业的人体工学和安全性要求而设计的附加功能以增强分析能力

人性化：简洁的显微镜设置使用户调整和再调用系统配置变得更为轻松。

成像技术：我们成熟可靠的光学器件和好的成像技术可获得清晰图像，并完成可靠检测。

模块化：用户可通过选择适合其应用的模块进行系统定制。

功能

MX63系列的各种观察功能可生成清晰的图像，让用户能够对样品进行可靠的缺陷检测。新的照明技术以及奥林巴斯Stream图像分析软件的图像采集选项为用户评估样品和存

档检测结果提供更多选择。

从不可见到可见：MIX观察与采集

通过暗场与明场、荧光或偏光等其他观察方法结合使用，MIX观察技术能够获得特殊的观察图像。MIX观察技术可让用户发现用传统显微镜难以观察的缺陷。暗场观察所用的

环形LED照明器具有可四象限分段照明的定向暗场功能。该功能可减少样品光晕，有助于观察样品的表面纹理。

轻松生成全景图像:即时MIA

利用多图像拼接(MIA)功能, 用户移动手动载物台上的XY旋钮即可轻松快速地完成图像拼接—电动载物台无需该操作。奥林巴斯Stream软件利用图案识别生成全景图像，让用

户获得更宽的视场。

生成全聚焦图像:EFI

奥林巴斯Stream软件的扩展聚焦成像(EFI) 功能可采集高度超出景深范围的样品图像。EFI将这些图像堆叠在一起生成单幅全聚焦样品图像。EFI配合手动或电动Z轴载物台使用

，可轻松生成结构可视化的高度图像。EFI图像可在奥林巴斯Stream桌面软件内离线生成。

利用HDR采集明亮区域和暗光区域

利用先进的图像处理技术，动态范围(HDR)可在图像内调整亮度差异，以减少眩光。HDR改善了数字图像的视觉品质，从而有助于生成具有参考价值的报告。

从基本测量到高级分析独立相机选项

测量对于品质、工艺控制和检测非常重要。基于这一想法，即便入门级奥林巴斯Stream软件包也包括交互测量功能的全部菜单，并且所

有测量结果与图像文件一起保存以便日后调用文档。此外，奥林巴斯Stream材料解决方案可为复杂图像分析提供直观的工作流界面。

点击按钮，图像分析任务即可快速完成。可大快速缩减重复性任务的处理时间，使操作人员的精力集中在检测工作上。

报告创建

创建报告所用的时间常常比采集图像和测量还长。奥林巴斯Stream软件提供了直观的报告创建功能，能够根据预先设定的模板多次创

建专业复杂的报告。编辑非常简单，报告可导出为MicrosoftWord或PowerPoint文件。此外，奥林巴斯Stream报告功能能够对采集的图

像进行数码变焦和倍率放大。报告文件大小适中，通过电子邮件进行数据传递更加方便。