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一、用途： |
| 干涉显微镜是用来测量精密加工零件（平面、圆柱等外表面）光洁度 |
| 的仪器，也可以用来测量零件表面刻线，镀层等深度。 |
| 该仪器配有各种附件，还能测量粒状、加工纹路混乱的表面及低反射率 |
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的工件表面。同时还能将仪器安置在工件上，对大型工件表面进行测量。 |
| 仪器测量表面不平深度范围为1～0.03微米，用测微目镜和照相方法 |
| 来评定▽10～▽14光洁度的表面。 |
| 干涉显微镜适用于厂矿企业计量室、精密加工车间，也适用于高等院校、 |
| 科学研究等单位。 |
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干涉显微镜 6JA |
二、主要技术规格： |
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测量表面光洁度范围（表面粗糙度 ） ▽10～▽14 |
| 工作物镜的数值孔径 |
0.65 |
| 工作距离 |
0.5毫米 |
| 仪器的视场 |
目视 |
φ0.25毫米 |
| 照相 |
0.21×0.15毫米 |
| 仪器的放大倍数 |
目视 |
500倍 |
| 照相 |
168倍 |
| 测微目镜放大倍数 |
12.5倍 |
| 工作台升程 |
5毫米 |
| X、Y方向移动范围 |
≈10毫米 |
| 旋转运动范围 |
360° |
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三、仪器配置： |
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1、仪器主体
1台 |
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2、12.5X测微目镜 1件 |
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3、狭缝目镜
1件 |
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4、V型块
1件 |
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5、6V/5W灯泡 2件
（备用） |
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6、变压器
1只 |
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7、试样夹
1件 |
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四、选购件： |
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DF相机、电脑成像系统等 |
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| 表面粗糙度与光洁度的关系参考表 (单位:μm) |
表面粗糙度
GB1031－1983 |
Ra |
0.012 |
0.025 |
0.05 |
0.10 |
0.20 |
0.40 |
0.80 |
1.60 |
3.20 |
6.30 |
12.5 |
25 |
50 |
100 |
表面光洁度
GB1031－1968 |
Ra |
0.01 |
0.02 |
0.04 |
0.08 |
0.16 |
0.32 |
0.63 |
1.25 |
2.5 |
5 |
10 |
20 |
40 |
80 |
等级 |
▽14 |
▽13 |
▽12 |
▽11 |
▽10 |
▽9 |
▽8 |
▽7 |
▽6 |
▽5 |
▽4 |
▽3 |
▽2 |
▽1 |
表面状态 |
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雾状镜面
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镜状光泽面
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亮光泽面
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暗光泽面
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不可辨加工痕迹方向
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微辨加工痕迹方向
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可辨加工痕迹方向
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看不清加工痕迹
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微见加工痕迹
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可见加工痕迹
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微见刀痕
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可见刀痕
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明显可见刀痕 |
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