介绍
VMM测量显微镜系列是观察、测量和处理系统化的显微镜阵容。
特点
● 视场宽阔，可得清晰无闪烁正像
● 高精度测量，同时具有大测量范围和高精度，适用于各种测量
● 可选用高NA物镜，满足长工作距离的测量要求
● 照明装置（反射/透射）可选用高亮度LED的照明或卤素照明
● 利用可变孔径光阑进行无衍射观察测量
● 各类尺寸的标准工作台
● 快速释放装置便于测量工件大或测量工件数量多的快速移动工作台
● 高位目镜观察
● 便捷CCD图像成像，可选配多种CCD数码相机
观察成像
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偏光观察
观察过滤后只有一个方向振动的光。适于观察具有特殊光学特性的材料，如矿石和液晶。 |
微分干涉对比观察
在检测金属、液晶和半导体表面的微小划痕和阶差时很有效。 |
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暗视场观察
挡住直射到物体上的光，只观察散射光，通过高对比度能观察到在亮视场看不到的划痕和粉末。 |
亮视场观察
最普通的观察方式，直接观察从工件表面反射的光。
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新功能增强Z轴测量精度
● 辅助对焦（FA）
新近研发的分光棱镜辅助对焦（FA）提供更锐利的图案，可在Z轴测量期间提供精确对焦。由于不同物镜焦深差异导致的测量误差被降到最低。
规格
● 无限远系统，管镜200mm
● 倾斜角度30°，瞳孔距离55-75mm，正像
● 高眼点，大视场WF10/22
● 鼻轮螺纹M26X0.706
● Z轴的长度180mm，微动精度0.002mm，测量精度（at20℃），XY-轴的（2.5+0.02L）um，L=测量长度（mm）在没有放物体分辨率为0.001mm
● 12V50W反射卤素灯
● 3W高亮度LED光源
● 可配置辅助调焦装置（FA）
技术参数
型号 |
VMM-8Ⅰ型 |
VMM-8Ⅱ型 |
VMM-8 Ⅲ型 |
VMM-8
Ⅳ型 |
VMM-12Ⅰ型 |
VMM-12Ⅱ型 |
VMM-12Ⅲ型 |
VMM-12
Ⅳ型 |
镜筒 |
1×光学管径，双目目镜，带有CCD1/2靶面接口 |
观察图像 |
正像 |
观测方法 |
辅助对焦系统 |
- |
- |
头部或照明器FA系统 |
头部或照明器FA系统 |
- |
- |
头部或照明器FA系统 |
头部或照明器FA系统 |
微分干涉对比 |
可选微分观测对比 |
目镜 |
10X(视场直径：25mm)，可选十字分划板，可选：视场直径：22mm |
物镜(100x选配) |
95mm 2x,
5x,10x,
20x,50x |
60mm 5x,
10x,20x,
50x |
95mm 2x,
5x,10x,
20x,50x |
60mm
5x,
10x,20x,
50x |
95mm 2x,
5x,10x,
20x,50x |
60mm 5x,
10x,20x,
50x |
95mm 2x,
5x,10x,
20x,50x |
60mm
5x,
10x,20x,
50x |
照明装置 |
反射照明 |
内置孔径光阑，LED光源，无极亮度调节，可选卤素照明 |
透射照明 |
白色LED照明，无极亮度调节 |
工作台 |
XY测量范围 |
200*100 |
200*100 |
200*100 |
200*100 |
300*200 |
300*200 |
300*200 |
300*200 |
快速释放装置 |
X轴和Y轴（标配） |
调零开关 |
X轴和Y轴（标配） |
数显计器 |
显示轴 |
2轴或3轴 |
分辩率 |
0.0005mm（可选0.00002mm） |
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VMM-8-Ⅰ型主图 |
VMM-8-Ⅱ型主图 |
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VMM-8-Ⅲ型FA主图 |
VMM-8-Ⅳ型FA主图 |
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VMM-12-Ⅰ型主图-95mm |
VMM-12-Ⅱ型主图-60mm |
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VMM-12-Ⅲ型FA主图-95mm |
VMM-12-Ⅳ型FA主图-60mm |
介绍
95MM金相长工作距离明场物镜。
特点
● 可见光成像
● 无限远光学系统，管径焦距200mm
● 物镜螺纹M26 x 0.706
技术参数
平场复消色差M PLAN APO L |
数值孔径N.A. |
工作距离W.D. |
焦距f |
景深D.F. |
分辨率R |
视场 |
目镜(WF10/24) |
1/2"CCD摄像头 |
2X |
0.055 |
34.6 |
100 |
91μ |
5μ |
Φ12 |
2.4x3.2 |
5X |
0.14 |
45 |
40 |
14μ |
2μ |
Φ4.8 |
0.96x1.28 |
10X |
0.28 |
34 |
20 |
3.5μ |
1μ |
Φ2.4 |
0.48x0.64 |
20X |
0.29 |
30.8 |
10 |
3.5μ |
1μ |
Φ1.2 |
0.24x0.32 |
50X |
0.42 |
20.5 |
4 |
1.6μ |
0.7μ |
Φ0.45 |
0.10x0.13 |
100X |
0.55 |
12.5 |
2 |
0.9μ |
0.5μ |
Φ0.24 |
0.05x0.06 |
介绍
60MM金相平场半复消色差物镜。
特点
● 可见光成像
● 物镜螺纹M26 x 0.706
技术参数
名称 |
物镜 |
目镜(WF10/25) |
数值孔径N.A. |
有效工作距离W.D.(mm) |
焦距f′(mm) |
分辨率R(μm) |
物理焦深±Δp(μm) |
物方视场(mm) |
焦点深度±Δ(μm) |
5X |
0.15 |
11.6 |
40 |
2.1 |
16.3 |
Φ5 |
38.3 |
10X |
0.3 |
6.3 |
20 |
0.9 |
3.1 |
Φ2.5 |
7.8 |
20X |
0.4 |
10.3 |
10 |
0.69 |
1.8 |
Φ1.25 |
3.5 |
50X |
0.8 |
2 |
4 |
0.34 |
0.4 |
Φ0.5 |
0.8 |
100X |
0.80 |
1.96 |
2 |
0.34 |
0.2 |
Φ0.25 |
0.6 |
介绍
45MM金相平场消色差明场物镜。
特点
● 可见光成像
● 无限远光学系统，管径200mm
● 物镜螺纹M20.32
技术参数
名称 |
物镜 |
目镜(WF10/25) |
数值孔径N.A. |
有效工作距离W.D.(mm) |
焦距f′(mm) |
分辨率R(μm) |
物理焦深±Δp(μm) |
物方视场(mm) |
焦点深度±Δ(μm) |
5X |
0.13 |
11.6 |
40 |
2.1 |
16.3 |
Φ5 |
38.3 |
10X |
0.3 |
6.4 |
20 |
0.9 |
3.5 |
Φ2.5 |
7.8 |
20X |
0.4 |
11.1 |
10 |
0.7 |
1.6 |
Φ1.25 |
3.5 |
50X |
0.55 |
8.2 |
4 |
0.5 |
10.9 |
Φ0.5 |
1.4 |
100X |
0.80 |
2 |
2 |
0.4 |
0.4 |
Φ0.25 |
0.7 |
微分干涉介绍
微分干涉DIC在正交偏光的基础上，插入DIC棱镜，即可进行DIC微分干涉相衬观察。使用DIC技术，可以使物镜表面微小的高低差产生明显的浮雕效果，极大的提高图像的对比度。
5X、10X、20X专为DIC设计，使得整个视场的干涉色一致，微分干涉效果非常出色，高倍物镜DIC效果也较好。
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