|
晶元半导体台阶测高显微镜介绍
VMM测量显微镜系列是观察、测量和处理系统化的显微镜阵容。
特点
● 视场宽阔，可得清晰无闪烁正像
● 高精度测量，同时具有大测量范围和高精度，适用于各种测量
● 可选用高NA物镜，满足长工作距离的测量要求
● 照明装置（反射/透射）可选用高亮度LED的照明或卤素照明
● 利用可变孔径光阑进行无衍射观察测量
● 各类尺寸的标准工作台
● 快速释放装置便于测量工件大或测量工件数量多的快速移动工作台
● 高位目镜观察
● 便捷CCD图像成像，可选配多种CCD数码相机
观察成像
|
|
|
|
偏光观察
观察过滤后只有一个方向振动的光。适于观察具有特殊光学特性的材料，如矿石和液晶。
|
微分干涉对比观察
在检测金属、液晶和半导体表面的微小划痕和阶差时很有效。
|
|
|
|
|
暗视场观察
挡住直射到物体上的光，只观察散射光，通过高对比度能观察到在亮视场看不到的划痕和粉末。
|
亮视场观察
最普通的观察方式，直接观察从工件表面反射的光。
|
新功能增强Z轴测量精度
● 辅助对焦（FA）
新近研发的分光棱镜辅助对焦（FA）提供更锐利的图案，可在Z轴测量期间提供精确对焦。由于不同物镜焦深差异导致的测量误差被降到最低。
规格
● 无限远系统，管镜200mm
● 倾斜角度30°，瞳孔距离55-75mm，正像
● 高眼点，大视场WF10/22
● 鼻轮螺纹M26X0.706
● Z轴的长度180mm，微动精度0.002mm，测量精度（at20℃），XY-轴的（2.5+0.02L）um，L=测量长度（mm）在没有放物体分辨率为0.001mm
● 12V50W反射卤素灯
● 3W高亮度LED光源
● 可配置辅助调焦装置（FA）
技术参数
|
型号
|
VMM-8Ⅰ型
|
VMM-8Ⅱ型
|
VMM-8 Ⅲ型
|
VMM-8
Ⅳ型
|
VMM-12Ⅰ型
|
VMM-12Ⅱ型
|
VMM-12Ⅲ型
|
VMM-12
Ⅳ型
|
|
镜筒
|
1×光学管径，双目目镜，带有CCD1/2靶面接口
|
|
观察图像
|
正像
|
|
观测方法
|
辅助对焦系统
|
-
|
-
|
头部或照明器FA系统
|
头部或照明器FA系统
|
-
|
-
|
头部或照明器FA系统
|
头部或照明器FA系统
|
|
微分干涉对比
|
可选微分观测对比
|
|
目镜
|
10X(视场直径：25mm)，可选十字分划板，可选：视场直径：22mm
|
|
物镜(100x选配)
|
95mm 2x,
5x,10x,
20x,50x
|
60mm 5x,
10x,20x,
50x
|
95mm 2x,
5x,10x,
20x,50x
|
60mm
5x,
10x,20x,
50x
|
95mm 2x,
5x,10x,
20x,50x
|
60mm 5x,
10x,20x,
50x
|
95mm 2x,
5x,10x,
20x,50x
|
60mm
5x,
10x,20x,
50x
|
|
照明装置
|
反射照明
|
内置孔径光阑，LED光源，无极亮度调节，可选卤素照明
|
|
透射照明
|
白色LED照明，无极亮度调节
|
|
工作台
|
XY测量范围
|
200*100
|
200*100
|
200*100
|
200*100
|
300*200
|
300*200
|
300*200
|
300*200
|
|
快速释放装置
|
X轴和Y轴（标配）
|
|
调零开关
|
X轴和Y轴（标配）
|
|
数显计器
|
显示轴
|
2轴或3轴
|
|
分辩率
|
0.0005mm（可选0.00002mm）
|
|
|
|
|
|
VMM-8-Ⅰ型主图
|
VMM-8-Ⅱ型主图
|
|
|
|
|
VMM-8-Ⅲ型FA主图
|
VMM-8-Ⅳ型FA主图
|
|
|
|
|
VMM-12-Ⅰ型主图-95mm
|
VMM-12-Ⅱ型主图-60mm
|
|
|
|
|
VMM-12-Ⅲ型FA主图-95mm
|
VMM-12-Ⅳ型FA主图-60mm
|
介绍
95MM金相长工作距离明场物镜。
特点
● 可见光成像
● 无限远光学系统，管径焦距200mm
● 物镜螺纹M26 x 0.706
技术参数
|
平场复消色差M PLAN APO L
|
数值孔径N.A.
|
工作距离W.D.
|
焦距f
|
景深D.F.
|
分辨率R
|
视场
|
|
目镜(WF10/24)
|
1/2"CCD摄像头
|
|
2X
|
0.055
|
34.6
|
100
|
91μ
|
5μ
|
Φ12
|
2.4x3.2
|
|
5X
|
0.14
|
45
|
40
|
14μ
|
2μ
|
Φ4.8
|
0.96x1.28
|
|
10X
|
0.28
|
34
|
20
|
3.5μ
|
1μ
|
Φ2.4
|
0.48x0.64
|
|
20X
|
0.29
|
30.8
|
10
|
3.5μ
|
1μ
|
Φ1.2
|
0.24x0.32
|
|
50X
|
0.42
|
20.5
|
4
|
1.6μ
|
0.7μ
|
Φ0.45
|
0.10x0.13
|
|
100X
|
0.55
|
12.5
|
2
|
0.9μ
|
0.5μ
|
Φ0.24
|
0.05x0.06
|
介绍
60MM金相平场半复消色差物镜。
特点
● 可见光成像
● 物镜螺纹M26 x 0.706
技术参数
|
名称
|
物镜
|
目镜(WF10/25)
|
|
数值孔径N.A.
|
有效工作距离W.D.(mm)
|
焦距f′(mm)
|
分辨率R(μm)
|
物理焦深±Δp(μm)
|
物方视场(mm)
|
焦点深度±Δ(μm)
|
|
5X
|
0.15
|
11.6
|
40
|
2.1
|
16.3
|
Φ5
|
38.3
|
|
10X
|
0.3
|
6.3
|
20
|
0.9
|
3.1
|
Φ2.5
|
7.8
|
|
20X
|
0.4
|
10.3
|
10
|
0.69
|
1.8
|
Φ1.25
|
3.5
|
|
50X
|
0.8
|
2
|
4
|
0.34
|
0.4
|
Φ0.5
|
0.8
|
|
100X
|
0.80
|
1.96
|
2
|
0.34
|
0.2
|
Φ0.25
|
0.6
|
介绍
45MM金相平场消色差明场物镜。
特点
● 可见光成像
● 无限远光学系统，管径200mm
● 物镜螺纹M20.32
技术参数
|
名称
|
物镜
|
目镜(WF10/25)
|
|
数值孔径N.A.
|
有效工作距离W.D.(mm)
|
焦距f′(mm)
|
分辨率R(μm)
|
物理焦深±Δp(μm)
|
物方视场(mm)
|
焦点深度±Δ(μm)
|
|
5X
|
0.13
|
11.6
|
40
|
2.1
|
16.3
|
Φ5
|
38.3
|
|
10X
|
0.3
|
6.4
|
20
|
0.9
|
3.5
|
Φ2.5
|
7.8
|
|
20X
|
0.4
|
11.1
|
10
|
0.7
|
1.6
|
Φ1.25
|
3.5
|
|
50X
|
0.55
|
8.2
|
4
|
0.5
|
10.9
|
Φ0.5
|
1.4
|
|
100X
|
0.80
|
2
|
2
|
0.4
|
0.4
|
Φ0.25
|
0.7
|
微分干涉介绍
微分干涉DIC在正交偏光的基础上，插入DIC棱镜，即可进行DIC微分干涉相衬观察。使用DIC技术，可以使物镜表面微小的高低差产生明显的浮雕效果，极大的提高图像的对比度。
5X、10X、20X专为DIC设计，使得整个视场的干涉色一致，微分干涉效果非常出色，高倍物镜DIC效果也较好。
|
手机：13818629801
邮箱：sales@sh-opt.com
地址：上海市嘉定区金沙江西路1555弄8号楼2楼