一、用途：

干涉显微镜是用来测量精密加工零件（平面、圆柱等外表面）光洁度的仪器，也可以用来测量零件表面刻线，镀层等深度。该仪器配有各种附件，还能测量粒状、加工纹路混乱的表面及低反射率的工件表面。同时还能将仪器安置在工件上，对大型工件表面进行测量。仪器测量表面不平深度范围为1～0.03微米，用测微目镜和照相方法来评定▽10～▽14光洁度的表面。

干涉显微镜适用于厂矿企业计量室、精密加工车间，也适用于高等院校、科学研究等单位。

 二、主要技术规格：

测量表面光洁度范围（表面粗糙度） ▽10～▽14
工作物镜的数值孔径		0.65
工作距离		0.5毫米
仪器的视场	目视	φ0.25毫米
	照相	0.21×0.15毫米
仪器的放大倍数	目视	500倍
	照相	168倍
测微目镜放大倍数		12.5倍
工作台升程		5毫米
X、Y方向移动范围		≈10毫米
旋转运动范围		360°

三、仪器配置：

1、仪器主体           1台                   2、12.5X测微目镜      1件  

3、狭缝目镜           1件                   4、V型块              1件

5、6V/5W灯泡          2件 （备用）       6、变压器             1只

7、试样夹             1件

 四、选购件：

DF相机、电脑成像系统等

表面粗糙度与光洁度的关系参考表  (单位:μm)